scia Systems GmbH

Das Chemnitzer Unternehmen scia Systems entwickelt Equipment zur ultra-präzisen Oberflächenbearbeitung basierend auf komplexen Plasma- und Ionenstrahltechnologien. Die Anlagen werden für verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse eingesetzt, insbesondere in den Industriezweigen MEMS, Mikroelektronik und Präzisionsoptik. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau eignen sich die Systeme sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienfertigung.

scia Systems steht für zuverlässiges Equipment und hohe Standards. Um dies zu gewährleisten, bietet das Unternehmen umfassende Leistungen aus einer Hand. Nicht nur die Bereiche Konstruktion und Fertigung werden intern realisiert, sondern auch die kundenspezifische Prozessanpassung und der anschließenden Service gehören zum Leistungsspektrum. Zudem sorgt ein weltweites Netzwerk von lokalen Vertriebs- und Servicepartnern für eine optimale und individuelle Kundenbetreuung.

Technologie Portfolio

• Ionenstrahltrimmen (IBT)
• Ionenstrahlätzen (IBE)
• Ionenstrahlabscheidung (DIBD)
• Plasma unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
• Reaktives Ionenätzen (RIE)
• Magnetron Sputtern
• Plasma Reinigung