robeko GmbH & Co. KG

Die robeko GmbH & Co. KG ist ein im Jahr 2002 gegründetes Handels- und Produktionsunternehmen für Komponenten der Dünnschichttechnik. Der Fokus liegt dabei auf Plasmatechnologien, vorzugsweise dem Magnetronsputtern, für das die gesamte Palette, der zur Schichtherstellung erforderlichen Geräte, geliefert wird. Insbesondere planare und zylindrische Sputterquellen, Plasmastromversorgungen, Reaktivgasregler und Sputtertargets. Zusammen mit den Kunden und der hauseigenen Konstruktion werden angepasste Lösungen für deren Applikation erarbeitet.

Es entstehen perfekt abgestimmte mechanische Spezialkomponenten, Beschichtungsmodule und Prozessregelsysteme. Um Endkunden in der Produktion noch bessere Leistungen bieten zu können, eröffnete robeko 2008 einen Targetbondshop. Die dort eingesetzte, innovative Nanobond®-Technologie ermöglicht bessere Leistungsdaten für gebondete Targets durch spannungsfreie Verbindung und Verwendung von Loten mit hohem Schmelzpunkt.