AURION Anlagentechnik GmbH

AURION liefert Batch-, Cluster- und Inlineanlagen zur Behandlung und Beschichtung von Oberflächen in Plasmaprozessen sowie Hochfrequenzkomponenten.
Zu den eingesetzten Plasmatechnologien gehören Aktivierung, Reinigung und Ätzen, reaktives Ionenätzen und Mikrowellen-Downstream-Plasma, Beschichtung mit PVD (physikalische Gasphasenabscheidung, Sputtern) und PECVD (plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung).

Zu den angebotenen Hochfrequenzkomponenten zählen automatische Impedanzanpassungsnetzwerke, Filter, Schalter, Leistungsteiler, Phasenschieber, flexible Steckverbinder und vieles mehr.
Darüber hinaus bietet das Team von Aurion sein umfangreiches Know-how in den Bereichen Plasmatechnologie und Hochfrequenztechnik für Beratungsdienstleistungen und Schulungen an. Zudem kann auch das eigene Applikationslabor für Prozessentwicklung und Musterproduktion genutzt werden.

Folgende Dienstleistungen bietet AURION unteranderem an:

• Plasma-Ätzen/-Aktivieren
• PVD Beschichtung
• Plasma-Polymerisation
• Plasma-Reinigung/-Entfernung
• PACVD-Beschichtung