PD2 - Plasmadiagnostik für Plasmadiffusion 4.0



Motivation:

  • Intensitätsmessungen und /oder
  • Zusammensetzungen und/oder
  • Erfassung Generatorenkennwerte und resultierende Gasatmosphären


Ziel:

  • Prozessdatenevaluierung für Folgeprojekte Plasma 4.0, Sicherung der
    Prozessstabilität, Reduzierung der Prozesszeiten (Ressourceneffizienz)


Aufgaben:

  • Plasmaprozessdaten-Monitoring, Zusätzlich Messung Ionen-Dichte, Vergleiche Massenspektrometermessungen | Langmuir-Sonde | OES


 

Projektstart:                                      01.02.2020

Projektlaufzeit:                                ca. 12 Monate

Beitrag pro Partner:                        10.000 € zzgl. USt.

INPLAS-Mitglieder:                       9.000 € zzgl. USt. 

 

 

Wissenschaftlicher Partner: Fraunhofer IST

 

 

Kontakt:                                   

Carola Brand | INPLAS e.V. | T: +49 531 21 55 574 |carola.brand@inplas.de