PDP² - Plasmadiagnostik für Plasmaprozesse 4.0

Ziel:

  • Prozessdatenevaluierung für Folgeprojekte Plasma 4.0

  • Sicherung der Prozessstabilität

  • Reduzierung der Prozesszeiten (Ressourceneffizienz)

Motivation:

  • Intensitätsmessungen und /oder
  • Zusammensetzungen und/oder
  • Erfassung Generatorenkennwerte und resultierende Gasatmosphären

Aufgaben:

  • Plasmaprozessdaten-Monitoring, Zusätzlich Messung Ionen-Dichte, Vergleiche Massenspektrometermessungen | Langmuir-Sonde | OES

 

Projektlaufzeit: ca. 12 Monate

Beitrag pro Partner: 9.000 € zzgl. USt.


 

 

Wissenschaftliche Durchführung: Fraunhofer IST

Wissenschaftliche Beratung: INP Greifswald

 

Bei Fragen melden Sie sich bitte:

 

Kontakt:

Carola Brand | INPLAS e.V. | T: +49 531 21 55 574 |

                                             E: carola.brand@inplas.de


 

 

 

 

Anmeldeformular:


  Aktiv Anmeldeformular PD2-Plasma 4.0.pdf
[461.56 KB]

 

Weitere Details:


  INPLAS-Verbundprojekt_PDP_Quadrat.pdf
[176.79 KB]