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Ziel:
Prozessdatenevaluierung für Folgeprojekte Plasma 4.0
Sicherung der Prozessstabilität
Reduzierung der Prozesszeiten (Ressourceneffizienz)
Motivation:
Aufgaben:
Plasmaprozessdaten-Monitoring, Zusätzlich Messung Ionen-Dichte, Vergleiche Massenspektrometermessungen | Langmuir-Sonde | OES
Projektlaufzeit: ca. 12 Monate
Beitrag pro Partner: 9.000 € zzgl. USt.
Wissenschaftliche Durchführung: Fraunhofer IST
Wissenschaftliche Beratung: INP Greifswald
Bei Fragen melden Sie sich bitte:
Kontakt:
Carola Brand | INPLAS e.V. | T: +49 531 21 55 574 |
E: carola.brand@inplas.de
Gemeinschaftsausschuss »Kombinierte Oberflächentechnik«
24.05.2022, Solingen
INPLAS-AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse«
28.06.2022, Stuttgart