PD² - Plasmadiagnostik für Plasmadiffusion 4.0

Ziel:

  • Prozessdatenevaluierung für Folgeprojekte Plasma 4.0

  • Sicherung der Prozessstabilität

  • Reduzierung der Prozesszeiten (Ressourceneffizienz)

Motivation:

  • Intensitätsmessungen und /oder
  • Zusammensetzungen und/oder
  • Erfassung Generatorenkennwerte und resultierende Gasatmosphären

Aufgaben:

  • Plasmaprozessdaten-Monitoring, Zusätzlich Messung Ionen-Dichte, Vergleiche Massenspektrometermessungen | Langmuir-Sonde | OES




 

Dieses vorwettbewerbliche Projekt ist für alle Interessierte offen.


Projektstart:               01.02.2020

Projektlaufzeit:          ca. 12 Monate

Beitrag pro Partner:    10.000 € zzgl. USt.

INPLAS-Mitglieder:       9.000 € zzgl. USt. 

 

Wissenschaftliche Partner: Fraunhofer IST und IOT, TU Braunschweig

 

Anmeldeschluss: 31.01.2020

Anmeldeformular


  Anmeldeformular Verbundprojekt _ PD2-Plasma 4.0.pdf
[143.39 KB]

Weitere Details


  INPLAS_VP_Plasma4.0_Folie.pdf
[478.61 KB]

Bei Fragen melden Sie sich bitte:

Kontakt:                                   

Carola Brand | INPLAS e.V. | T: +49 531 21 55 574 |carola.brand@inplas.de