PD² - Plasmadiagnostik für Plasmadiffusion 4.0

Ziel:

  • Prozessdatenevaluierung für Folgeprojekte Plasma 4.0

  • Sicherung der Prozessstabilität

  • Reduzierung der Prozesszeiten (Ressourceneffizienz)

Motivation:

  • Intensitätsmessungen und /oder
  • Zusammensetzungen und/oder
  • Erfassung Generatorenkennwerte und resultierende Gasatmosphären

Aufgaben:

  • Plasmaprozessdaten-Monitoring, Zusätzlich Messung Ionen-Dichte, Vergleiche Massenspektrometermessungen | Langmuir-Sonde | OES

 

Projektstart: 1. Quartal 2020
Projektlaufzeit: ca. 12 Monate

Beitrag pro Partner: 10.000 € zzgl. USt.

INPLAS-Mitglieder: 9.000 € zzgl. USt.

 

 

Wissenschaftliche Partner: Fraunhofer IST und IOT, TU Braunschweig

 

Bei Fragen melden Sie sich bitte:

 

Kontakt:

Carola Brand | INPLAS e.V. | T: +49 531 21 55 574

|carola.brand@inplas.de

 

Anmeldeschluss: 27.03.2020

 

 

 

 

Anmeldeformular:


  Aktiv Anmeldeformular PD2-Plasma 4.0.pdf
[461.56 KB]

 

Weitere Details:


  INPLAS_VP_Plasma4.0_Folie.pdf
[509.22 KB]