PLASUS ist ein weltweit führender Hersteller von spektroskopischen Plasmamonitoren für jegliche Art von Plasmaprozessen in F&E und Industrie. Seit nunmehr 20 Jahren entwickelt, produziert und vertreibt PLASUS innovative und anwendungsorientierte Plasmamonitor- und Prozesskontrollsysteme. Die Anwendungspalette reicht von der Qualitätskontrolle von PECVD-Plasmen über die aktive Prozessregelung in reaktiven Sputterprozessen und der Endpunktdetektion in Ätzprozessen bis hin zur Prozessüberwachung von atmosphärischen Plasmen.

 

Das Unternehmen wurde 1996 von Dr. Thomas Schütte gegründet, welcher von Anbeginn besonderen Wert auf den konsequenten Einsatz der spektroskopischen Messtechnik in einem schlüsselfertigen und industrietauglichen System legte. Der Hauptgeschäftssitz befindet sich in Mering, Deutschland. 

 

Es entstanden wegweisende Plasmamonitorsysteme mit innovativen In-Vakuum Sensoren und einer umfassenden aber dennoch einfach zu bedienenden Softwareoberfläche, die den Anwendern eine Vielzahl von neuartigen Echtzeitmesstechniken in der Plasmatechnologie zur Verfügung stellen.
 

Das Vertriebsnetz von PLASUS ist kontinuierlich am Wachsen mit zahlreichen lokalen Vertriebspartnern in den europäischen Ländern, dem langjährigen und starken asiatischen Supportcenter in Taiwan und lokalen Vertretungen in Japan, China und Korea. Den amerikanischen Markt wird in Kürze ein nordamerikanischer Partner betreuen.