scia Systems ist Anbieter komplexer Plasma- und Ionenstrahltechnologien für die ultra-präzise Oberflächenbearbeitung, mit Sitz in Chemnitz, Deutschland. Das Unternehmen entwickelt Anlagensysteme für die Mikroelektronikbranche und die Präzisionsoptikfertigung. Die Systeme können sowohl für Massenproduktion als auch für den Einsatz in Forschung und Entwicklung konfiguriert werden und ermöglichen durch ihren flexiblen und modularen Aufbau die Kombination mehrerer Vakuumprozesskammern entsprechend der Kundenanforderungen als Cluster- oder Durchlaufsysteme.

 

scia Systems bietet das komplette Leistungsspektrum von der Entwicklung und Konstruktion über die Fertigung und Prozessanpassung der Systeme bis hin zum anschließenden After-Sales Service. Die individuelle Kundenbetreuung wird nicht zuletzt durch ein weltweites Vertriebs- und Servicenetzwerk gewährleistet.

Technologie Portfolio

  • Ionenstrahltrimmen (IBT)
  • Ionenstrahlätzen (IBE)
  • Ionenstrahlabscheidung (DIBD)
  • Plasma unterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PECVD)
  • Reaktives Ionenätzen (RIE)
  • Magnetron Sputtern
  • Plasma Reinigung