Die Firma Nano6 s.r.o. ist ein Spin-Off aus dem Institute of Physics (Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. ) der tschechischen Akademie der Wissenschaften.

 

Ziel ist die Kommerzialisierung existierender Beschichtungswerkzeuge für relativ hohe Abscheideraten bei gleichzeitiger minimaler thermischer Substratbelastung.

 

 

 

Nano6 entwickelt und betreibt Vakuumprozesssysteme zur Entwicklung und Herstellung dünner Kohlenstoffschichten mit Hilfe der plasmachemischen Gasphasenabscheidung (PECVD). Im Fokus stehen dabei sogenannte nanokristalline Diamantschichten für verschiedenste Anwendungen, u.a. in der Elektronik und Medizintechnik. Darüber hinaus ist die Prozessentwicklung für das erst in jüngster Zeit entdeckte Graphen von großer Bedeutung.
 

Neben den Abscheideprozessen und der Qualitätssicherung ist das Design von geeigneten Plasmaquellen für die Herstellung harter Kohlenstoffschichten auf temperatursensiblen Substraten ein Hauptgeschäftsfeld von Nano6.

                                                                                                       


 

 

Nano6 s.r.o. in Bildern