How to increase the efficiency of sputtering (and related topics)

Dass  dünne Schichten heute Schlüsselkomponenten für viele innovative Produkte aus dem Bereich der Unterhaltungselektronik sind, sollte ebenso bekannt sein wie die Tatsache, dass sie eine tragende Rolle bei der Energieeinsparung (Verschleiß- und Reibungsminderung, Wärmedämmung) sowie der Nutzung erneuerbarer Energien (Photovoltaik, Solarthermie) spielen. Die wichtigste industrielle Technologie zur Herstellung solcher Schichten ist die Magnetronzerstäubung, an deren Weiterentwicklung seit mehr als 30 Jahren erfolgreich gearbeitet wird. Zahlreiche Meilensteine wurden erreicht, viele Herausforderungen bleiben.

Unter dem Titel „How to increase the efficiency of sputtering“ veranstaltete das Kompetenznetz INPLAS e.V. am 23. und 24. Februar 2011 einen Workshop, dessen Teilnehmer sich mit Ansätzen zur Erhöhung der Effizienz von industriell genutzten Zerstäubungsprozessen beschäftigten.

Mehr als 50 Experten aus Forschung, Entwicklung und Anwendung trafen sich im Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik (IST) in Braunschweig, um aktuelle Entwicklungen zu diskutieren. In 11 Vorträgen wurde das Thema beleuchtet, renommierte Referenten kamen auch aus Belgien, Schweden und Großbritannien.

Der Workshop bildete den Auftakt zu einer Veranstaltungsreihe, die unter dem Namen „INPLAS Talks“ fortgeführt werden soll. „INPLAS Talks“ wird weitere aktuelle Themen aufgreifen, zu denen international führende Experten berichten.