AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse«

 

Eine Beschichtung ist nur so gut wie ihr Prozess. Das Know-how zur Erzielung der richtigen Schichteigenschaften und einer entsprechenden Schichtqualität ist häufig entscheidend für die Einstellung der jeweils gewünschten Oberflächenfunktionen.

 

Die Arbeitgruppe »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse« beschäftigt sich daher mit der Bewertung neuer Verfahren und Möglichkeiten zur Herstellung von Schichtsystemen. 

Arbeitsgruppenleitung

 

Dr. Ulf Seyfert

VON ARDENNE GmbH

Am Hahnweg 8

01328 Dresden

E-Mail: seyfert.ulf@vonardenne.biz

 

 

 

 

Matthias Nestler

scia Systems GmbH

Annaberger Straße 240

09125 Chemnitz

E-Mail: m.nestler@scia-systems.com

 

Dr. Anke Hellmich

Applied Materials

Siemensstraße 100

63755 Alzenau

E-Mail: anke_hellmich@amat.com