Neuartige Plasmaquellen und -prozesse

Neuartige Plasmaquellen und –prozesse

Eine Beschichtung ist nur so gut wie ihr Prozess. Das Know-how zur Erzielung der richtigen Schichteigenschaften und einer entsprechenden Schichtqualität ist häufig entscheidend für die Einstellung der jeweils gewünschten Oberflächenfunktionen.

 

Die Arbeitgruppe »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse« beschäftigt sich daher mit der Bewertung neuer Verfahren und Möglichkeiten zur Herstellung von Schichtsystemen. Aktuell wird an HIPIMS-Technologien (High Power Impuls Magnetron Sputtering), Möglichkeiten der Plasmadiagnostik und Regelungstechnik sowie an Methoden für 3D-Beschichtungen gearbeitet.

 

Arbeitsgruppenleiter:

 

Dr. Bernhard Cord

Singulus Technologies AG

Hanauer Landstr. 103 l 63796 Kahl am Main

Telefon: +49 (6188) 440-459

E-Mail: bernhard.cord@singulus.de

www.singulus.de