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erstellt am 22.10.2020

SOLAYER ermöglicht Fortschritte in der 3D-Sensortechnologie


 

Im Rahmen eines technischen Durchbruchs, der neue Fortschritte bei 3D-Sensortechnologien ermöglichen soll, berichtete SOLAYER heute, dass das Unternehmen Hochleistungsfilter auf der Basis von hydrogenisiertem amorphem Silizium (a-Si:H) unter Verwendung seiner Beschichtungsplattform AVIOR M-300 hergestellt hat. Das Unternehmen entwickelt innovative Vakuumbeschichtungsanlagen und -prozesse für hochpräzise optische Anwendungen. Der neue technische Meilenstein bestätigt SOLAYERs Ansatz zur Verhinderung der Substratdurchbiegung - ein hartnäckiges Hindernis bei der Verarbeitung ultradünner Substrate - und verspricht den Kunden eine praktische neue Lösung, um 3D-Sensoren der nächsten Generation zu ermöglichen.

 

Unterhaltungselektronik wie Smartphones und Videospiele basieren auf 3D-Sensortechnologien für Kernfunktionen wie Geolokalisierungsfunktionen, High-End-Fotografie und immersive Virtual/Augmented-Reality-Erlebnisse. Die Technologie ermöglicht auch biometrische Marker für die Cybersicherheit, Robotik in medizinischen und industriellen Umgebungen, fortschrittliche Bildgebungsgeräte für die medizinische Diagnostik und intelligente Autos, in denen Sensoren die Sicherheit des Fahrers erhöhen.

 

Um die Hochleistungsfilter herstellen zu können, musste SOLAYER die Herausforderungen überwinden, die mit extrem dünnen Substraten verbunden sind, nämlich die durch den Beschichtungsprozess verursachte Wölbung. Eine solche Wölbung kann nachfolgende Verarbeitungsschritte behindern und sogar einschränken.

 

Mit einem speziellen Herstellungsverfahren konnte SOLAYER Substrate mit einer Dicke von 0,2 mm und einem Durchmesser von 200 mm beschichten und eine Substratdurchbiegung von weniger als 11 mm erzeugen. Dies ist eine Verbesserung gegenüber herkömmlichen Verfahren, die nur eine Durchbiegung von > 13 mm erreichen konnten. Die SOLAYER-Verfahren ermöglichen nicht nur eine geringe Durchbiegung, sondern können auch zur Herstellung von Filtern mit einer sehr hohen Transmission T avg > 96 % eingesetzt werden. Bei einem Einfallswinkel von 30° (AOI 30°) zeigt der Bandpassfilter nur eine Verschiebung von < 10,5 nm.

 

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